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真空系統定制 真空腔體加工

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系統名稱:兩級串聯質譜分析器


技術參數:

1.設備名稱:兩級串聯線性質譜分析器

2.數量:1套

3.運行環境:

(1)房間溫度:22~25℃

(2)相對濕度:20~60%

(3)適用電源:單相,220V±10%,50Hz±2%,4kVA,要求連續供電;三相,380V±10%,50Hz±2%,8kVA,要求連續供電;接地電阻小于2歐姆

4.系統組成及技術指標:

包括真空系統(束源室、電離室、選質室、兩級飛行管和真空電控系統),脈沖束源,離子加速聚焦組件,質量篩選器(質量門),微通道板(MCP)探測器、配氣系統。技術指標如下:

(1)★真空腔體:質譜腔空載時,泵口近端真空度好于5×10━5 Pa;真空計測量1×105 – 1-10-5 Pa范圍;分子泵抽速不小于1200L/s,并且和前級油泵(2臺,每臺抽速不小于8L/s)之間有隔油裝置;電控系統具備真空系統一鍵開、關機、數據記錄功能,具備水壓、斷電、真空互鎖保護功能;包含組成真空系統的必要配件(必要膠圈、螺釘、螺母、墊片、波紋管、卡箍、三通、四通、銅墊圈、水管、喉箍等)。

(2)★脈沖束源: 靶材作周期性平、轉運動,轉速10~30rpm,真空腔外可調,平動范圍6~15mm可調;靶材尺寸Φ16mm;載氣工作頻率1-120Hz;產生管距skimmer距離,可更換不同支撐桿長度進行不連續調節,最近距離約10mm。

(3)離子加速聚焦組件:口徑≥30mm×60mm(團簇進入方向),總離子通透率大于80%;整體安裝角度可微調。電穿透電壓可調范圍-5000~+5000V。

(4)★質量篩選器(質量門): 口徑≥30mm×60mm,總離子通透率大于80%;;電穿透電壓可調范圍-5000~+5000V。。

(5)微通道板(MCP)探測器:數量2個;口徑≥Φ25mm;倍增效率≥106倍;一級探測器放置于紅外光解區附近,可探測光解區離子空間聚焦情況;二級探測器可于真空腔外微調探測器俯仰角度。

(6)可與自行研制的118nm激光和紅外解離光耦合。

(7)配氣系統: 抽氣泵抽速不小于4L/s,獨立配氣管道個數>5個。

(8)占地面積不超過2平方米。三個主腔體四面接口尺寸統一,可以互換,后期可拆分組合。

★綜合性能:可探測質量范圍50~2000 amu離子,對1000 amu附近的質譜峰的分辨率達到1000(M/ΔM)。






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